近期，國家標準化管理委員會發布了《GB/T40066-2021納米技術氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》，這一方面意味著石墨烯材料的產業化工作向前邁進了一步，另一方面也表明原子力顯微鏡開始逐步被標準化工作認可和接受。

為此，作為有著三十年原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡設計、開發、銷售經驗的島津，按照新發布標準的流程進行了產品驗證。結果表明，島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產品完全符合標準的要求。

本次分析流程完全參照《GB/T40066-2021納米技術氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》附錄A方法一實例進行。

01測試儀器：島津SPM-9700HT

02圖像分析軟件：WSxM 5.0 Develop 8.4

03圖像處理過程

經SPM-9700HT掃描獲得的原始圖像如下：

利用WSxM軟件Flatten功能處理后圖像如下

按標準利用軟件的Profile功能選取不同位置三條輪廓線，輪廓線方向為SPM-9700HT快速掃描方向（X軸）。

將3條輪廓線數據導出，利用EXCEL軟件進行處理，分別擬合3條輪廓線的上臺階擬合直線和下臺階擬合直線。

厚度計算：利用標準中的公式計算

公式圖片來源：《GB/T40066-2021納米技術氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》

結論

(1)、按照標準計算得知該片氧化石墨烯厚度為0.630±0.039nm，由此可推測這片氧化石墨烯為單層石墨烯。

(2)、島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產品完全符合《GB/T40066-2021納米技術氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》的要求。